
單晶生長(zhǎng)爐是半導(dǎo)體、光伏、光電子、新材料等領(lǐng)域的核心裝備,通過直拉法(CZ)、區(qū)熔法(FZ)、布里奇曼法等工藝,生長(zhǎng)硅、藍(lán)寶石、碳化硅、鍺、砷化鎵等高質(zhì)量單晶,是產(chǎn)業(yè)鏈上游的關(guān)鍵設(shè)備。以下是其主要應(yīng)用行業(yè):

特種陶瓷(氧化鋁、氧化鋯、氮化硅、碳化硅等)對(duì)溫度、氣氛、升溫、降溫、密封、爐膛清潔要求較高。

特種陶瓷燒結(jié)爐是專為氧化鋁、氧化鋯、氮化硅等高性能特種陶瓷材料燒結(jié)制備設(shè)計(jì)的專用熱工設(shè)備,核心作用是通過正確控溫與氣氛調(diào)節(jié),促使陶瓷坯體完成致密化、晶相轉(zhuǎn)變,形成滿足高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕等特殊性能要求的成品。其核心特點(diǎn)與功能如下:

單晶生長(zhǎng)爐是制備高純度單晶體的核心設(shè)備,其核心用途是通過熔融、提拉、凝固等工藝,將多晶材料轉(zhuǎn)化為結(jié)構(gòu)完整、純度高的單晶體,廣泛支撐半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、太陽(yáng)能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展,還用于光學(xué)材料制備與科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。具體用途可分為以下幾類: